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研究方向
微纳制造领域
设备
亮点
NFF(GZ)支持三代半导体制程以及8寸MEMS半自动科研线,拥有约2000㎡的洁净室,涵盖制模、光刻、刻蚀、沉积、键合以及量测各个环节。
可提供的服务
设备培训
工艺咨询
技术指导 等服务